- 産品(pin)概述
- 技術(shu)參數
将(jiāng)基片放入(ru)真空室内(nei),以電阻、電(diàn)子束、激光(guang)等方法加(jia)熱膜料,使(shi)膜料蒸發(fa)或升華,氣(qì)化爲具有(yǒu)一定能量(liàng)(0.1~0.3eV)的🌈粒子(原(yuán)子、分子或(huò)原☔子團)。氣(qi)态粒子以(yi)基本無碰(pèng)撞的直線(xian)運動飛速(sù)👄傳送至💃🏻基(jī)片,到達基(jī)片表面🔴的(de)粒子一部(bù)分被反射(shè),另一部分(fèn)吸附在基(jī)片上并發(fā)生表面擴(kuò)散,沉積原(yuán)子之間産(chǎn)生二維碰(pèng)撞,形成簇(cù)團,有的可(ke)能在表面(miàn)短時停留(liu)後又蒸發(fā)。














