- 産品概述(shù)
- 技術參數(shù)
将基片(pian)放入真空(kong)室内,以電(diàn)阻、電子束(shù)、激光等方(fāng)法加🈲熱膜(mo)料,使膜料(liao)蒸發或升(shēng)華,氣化爲(wèi)具有一定(dìng)能量(0.1~0.3eV)的粒(lì)子(原子♉、分(fèn)子或原子(zi)團)。氣态粒(lì)子以基本(ben)無碰撞的(de)直線運動(dong)飛速✏️傳送(sòng)至基片,到(dào)達基片表(biǎo)面的粒子(zi)一部分被(bei)反射,另一(yi)部🌏分吸附(fu)在基片上(shang)并發生表(biao)面擴散,沉(chén)積原子之(zhī)間産生二(èr)維碰撞,形(xing)成簇團,有(you)的可能在(zài)表面短時(shí)停留後又(yòu)蒸發。














